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氧化铈抛光垫在玻璃抛光过程中的使用

来源:  发布时间:2019-06-17   点击量:170

本文汇总蚀刻减薄企业中现有一些在面板或玻璃单面抛光过程中氧化铈抛光垫的常见更换、清洗等流程。
所用主要工具和物料:
工具
1、  塑料毛刷
2、  美工刀
3、  塞尺
4、  水平尺
5、  橡胶锤
6、  修整盘
物料:
1、  氧化铈抛光垫
2、  丙酮
氧化铈抛光垫的更换
更换标准:根据不同的切槽要求,氧化铈抛光垫实际使用的切槽方式较多,现有的减薄抛光企业大多采用方形切槽。根据方形槽抛光垫,当整个抛光垫面积提高50%时,块损耗可达3/4,可更换抛光垫。另外,根据槽深,氧化铈抛光垫50%面积的槽深小于0.2 mm时,也可考虑更换抛光垫。
更换操作方法:
1、  旧抛光垫拆除和机台残胶清理
1)操作抛光机摇臂将抛光盘移动到适当位置,用刀片和其他工具轻轻撬起抛光垫的一角,用手握住抛光垫的珍视部分,并用力撕开抛光垫,以去除抛光垫。
2)去除抛光垫后,首先用水枪喷水,用刷子去除盘上的研磨粉。如果表面难以去除,表面可以涂上无水乙醇或丙酮溶液,然后使用刮刀等工具去除。其中,如果抛光液模式机在中间供应,注意不要将残留的胶水和其他杂质流入中心供应口和抛光液导槽。
2、  新抛光垫的粘贴
如果抛光机盘面大,需要大量氧化铈抛光垫拼接。
例如,将更换一个新的抛光垫,并将其放置在下板上,以划分粘合垫的尺寸。
粘贴流程:
1)将抛光垫背胶撕裂约50~100 mm,观察抛光垫的相对盘面是否左右对称,抛光垫是否先贴在盘面的一个角上。重要的是保持抛光垫边缘和盘边缘约5 mm,以便于切割抛光垫。
2)将粘在盘面上的抛光垫部分用一只手按压,另一只手撕到抛光垫背面的粘合保护纸上,然后均匀地粘在一起,直到整个抛光垫贴好并完成。
3)检查胶接抛光垫有无鼓包部位。如果发现凸出,可以使用钢针和其他小工具刺穿粘贴的抛光垫,释放空气并平整。
抛光垫的切割和修整清洗
1)用刀具沿刀盘边缘切割多余的抛光垫,刀盘与刀盘之间的角度约为60度。对于中间供液的抛光机,还应拆除中央供应口的抛光垫。
2)抛光垫切割粘贴后,用磨棒工具将抛光垫边缘打磨光滑,防止毛刺等不规则边缘造成后续抛光操作风险。磨光后,用橡胶锤轻轻地打磨抛光垫,以确保抛光垫被严格粘贴。
3)对切割粘贴好的抛光垫,用光盘表面相应尺寸的整盘进行修整。
需要抛光垫修整盘情况说明和注意事项:
1)左右两侧的塞尺不能移动,中间位置测隙规具有轻微的电阻或无阻力,表明盘面的氧化和抛光垫处于凹陷中部,左右两侧处于高状态,需要修复。
2)塞尺左右侧有轻微阻力或无阻力,但塞尺中间位置未拉,说明盘抛光垫在中间较高,两侧较低,需要修理。
3)参考建议:保证盘的测量频率为每班两次,当盘的平面度为30μm时,抛光垫的平整度需要修复。
4)修整过程中,用水枪冲洗抛光板,转动下板,上板依次摆动。基准整理时间应控制在5分钟左右,并完成和完成对支撑表面的表面检测。


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