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抛光垫的作用及影响因素

来源:  发布时间:2019-06-19   点击量:458



抛光垫又称抛光革、抛光布、抛光片、化学机械抛光,是决定表面质量的重要配件。抛光垫用于抛光。它的结构由布料和胶水组成。抛光垫分为多种,有丝绒、尼龙、纤维、聚氨酯等材料。抛光垫又称抛光布。它也可以称为抛光皮革。其作用如下:
1、将抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
2、抛光后完全进行化学反应,反应物和残渣顺利排出,达到去除效果;
3、保持抛光垫表面的抛光液膜,使化学反应充分进行。

4、保持抛光工艺光滑,表面不变形,以获得更好的晶圆表面形貌。

抛光垫是进口和国产的,无论是进口的还是国产的,有无背胶。许多客户不知道什么是背胶时,他们购买它。实际上,背胶是用来粘住的。衬垫粘合剂是磨削过程中必不可少的一种东西。可将抛光垫与磨盘紧密结合在一起,以稳定两者,使其在平面磨床磨削过程中不会移动,间接保证磨削运动。
抛光垫的影响因素
(1)硬度-抛光垫的硬度决定了保持表面精度的能力。
(2)压缩比-压缩比反应抛光垫的抗变形能力;
(3)营养-抛光垫的营养是每单位体积存储在抛光垫中的抛光液的质量;
表面粗糙度-表面粗糙度是指抛光垫表面的不均匀程度;
密度密度是抛光垫材料的密度。




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